켐트로닉스, 포토레지스트 용제 개발로 한국 수출 규제 극복
켐트로닉스는 국내 기업의 수출규제로 인해 어려움을 겪고 있던 포토레지스트(PR) 용제(솔벤트)를 해결하기 위한 대안을 개발하였다고 밝혔다. 일본의 수출규제로 인해 PR 솔벤트의 수입이 어려워진 상황에서, 켐트로닉스는 해당 용제를 국내에서 생산하는 방법을 찾았다. 그 결과, 포토레지스트 구성재로 사용되는 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세트산(PGMEA)의 순도를 99.999%(5N)로 생산하는 데에 성공하였다.
PGMEA는 반도체 제조 공정에서 사용되는 용제로, 감광 반응이 일어나지 않은 부분에 묻은 감광물질을 제거하는 역할을 한다. 그 동안 켐트로닉스는 일본과 대만, 중국 등에서 PGMEA를 수입한 후 정제 작업을 거쳐 기업들에게 공급하고 있었다. 하지만 일본의 수출규제로 인해 국산화가 필요해지게 되었고, 켐트로닉스는 4년여의 개발 노하우를 바탕으로 5N급 PGMEA를 국내에서 양산할 수 있게 되었다.
김응수 켐트로닉스 대표는 5N급 순도의 PGMEA는 노광 때 발생하는 불량을 현저히 줄일 수 있으며, 친환경적인 특성도 갖추고 있다고 설명했다. 켐트로닉스는 작년부터 대량생산을 위해 240억원을 투자하여 연 1만t의 생산능력을 확보하였으며, 올해 추가로 170억원을 투자해 생산능력을 2만5000t로 확대할 예정이다.
김 대표는 "켐트로닉스의 국산 PGMEA 양산은 국내 반도체 산업에 대한 의존도를 낮추고 국가 안보 측면에서도 큰 이점을 가져다 줄 것"이라며, 앞으로 본격 양산을 위한 최종 고객사의 품질 승인 작업을 진행하고 2024년 상반기부터 양산에 들어갈 예정이라고 밝혔다.
PGMEA는 반도체 제조 공정에서 사용되는 용제로, 감광 반응이 일어나지 않은 부분에 묻은 감광물질을 제거하는 역할을 한다. 그 동안 켐트로닉스는 일본과 대만, 중국 등에서 PGMEA를 수입한 후 정제 작업을 거쳐 기업들에게 공급하고 있었다. 하지만 일본의 수출규제로 인해 국산화가 필요해지게 되었고, 켐트로닉스는 4년여의 개발 노하우를 바탕으로 5N급 PGMEA를 국내에서 양산할 수 있게 되었다.
김응수 켐트로닉스 대표는 5N급 순도의 PGMEA는 노광 때 발생하는 불량을 현저히 줄일 수 있으며, 친환경적인 특성도 갖추고 있다고 설명했다. 켐트로닉스는 작년부터 대량생산을 위해 240억원을 투자하여 연 1만t의 생산능력을 확보하였으며, 올해 추가로 170억원을 투자해 생산능력을 2만5000t로 확대할 예정이다.
김 대표는 "켐트로닉스의 국산 PGMEA 양산은 국내 반도체 산업에 대한 의존도를 낮추고 국가 안보 측면에서도 큰 이점을 가져다 줄 것"이라며, 앞으로 본격 양산을 위한 최종 고객사의 품질 승인 작업을 진행하고 2024년 상반기부터 양산에 들어갈 예정이라고 밝혔다.
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