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원익큐엔씨, 한일재단과 협력하여 질화알루미늄(AIN) 히터 개발 성과 달성

한국의 소재부품 전문기업 원익큐엔씨는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필요한 쿼츠 웨어 및 세라믹 웨어 부품을 생산하고 있다. 최근 1년간 원익큐엔씨는 질화알루미늄(AIN) 히터 개발에 많은 노력을 기울였다. AIN 히터는 반도체 증착 공정에서 사용되는 장비 챔버의 핵심 부품으로, 웨이퍼를 고정하면서 고온으로 균일하게 가열하는 역할을 한다.

원익큐엔씨는 고품질 AIN 히터의 개발을 위해 지난해 한일산업기술협력재단이 운영하는 "일본 우수 퇴직기술자 유치 활용 사업"에 참여하였다. 이 사업은 산업통상자원부와 한국산업기술진흥원의 지원을 받아 16년간 진행되고 있는데, 한일재단은 900명 이상의 일본 우수 퇴직기술자 데이터베이스를 보유하고 있다. 이 사업을 통해 원익큐엔씨는 일본의 제조업 특유한 "모노즈쿠리(장인정신)"을 전수받아 국내 중소·중견기업들이 필요로 하는 분야에 맞추어 핵심 시니어 인력을 매칭해주고 기술상의 애로점을 컨설팅해준다.

원익큐엔씨는 한일재단을 통해 연결된 일본 퇴직기술자 미야타 세이치로씨의 기술 지도를 받아 괄목할 만한 성과를 이뤄냈다. AIN 히터 요소 기술 개발의 목표를 구체적으로 설정한 뒤, 체적저항과 인장강도 등 3가지 항목에서 모두 목표치 이상을 달성했다. 특히 500도 이상의 고온에서 확실히 개선된 체적저항 값을 보여 기존의 문제점을 해결하였다.

이러한 성과는 단순한 일회성의 지도가 아니라 1년 동안 계속되는 과정에서 이루어진 것이다. 원익큐엔씨는 일본의 기술을 지도 받은 후 직접 테스트를 거쳐 실험 결과를 분석하고 적용하는 과정을 여러 차례 반복했다. 권혁천 원익큐엔씨 세라믹연구팀장은 "작년 7월부터 진행된 일본의 기술 지도를 받은 경험을 통해 많은 것을 얻을 수 있었다"고 말했다.

앞으로 원익큐엔씨는 한일재단을 비롯한 다양한 협력 기회를 통해 기술 개발을 지속적으로 추진하고 앞으로의 성장을 위한 기반을 마련할 것으로 기대된다.

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