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반도체 산업에서 물은 매우 중요한 자원으로 간주되고 있습니다. 이에 따라 반도체 기업들은 수자원 관리에 많은 노력을 기울이고 있습니다. 반도체 공정에서 발생하는 폐수를 정화하고 방류하는 것은 물론, 수원지에서 사용되는 물의 양을 줄이기 위해 폐수를 재활용하는 등 다양한 노력을 기울이고 있습니다. 이러한 노력으로 반도체 공장의 방류수는 과거에는 오염된 폐수로 여겨졌지만 최근에는 주변 하천의 생태계를 재생하는 "착한 물"로 인식되고 있습니다.

삼성전자의 기흥 사업장은 매일 최대 5만 톤의 맑은 물을 인근 오산천으로 방류하고 있습니다. 이 물은 공업용수로 사용된 뒤 5단계 정화과정을 거쳐 깨끗한 상태로 방류됩니다. 오산천은 수량이 부족한 건천으로서 야생동물이 살기 어려운 환경이었습니다. 하지만 2007년부터 기흥 사업장에서 방류되는 깨끗한 물로 인해 하천의 수량이 증가하고 수질도 개선되었습니다. 예를 들어, 방류 이전에 오산천에서 요구되는 생화학적 산소 수준은 3급수에 해당하는 5.2ppm 수준이었지만, 2019년에는 1.4ppm(2급수)까지 낮아졌습니다. 이에 따라 생태계가 회복되어 2020년에는 멸종위기 1급이자 천연기념물 제330호로 지정된 수달의 서식지로 확인됐습니다.

반도체 기업들은 공업용수 방류 전에 정화과정에 특히 신경을 쓰고 있습니다. 삼성전자의 반도체 사업장에서는 5단계 정화과정을 거칩니다. 우선 폐수에 약품을 사용하여 불, 인, 탄소 등의 오염물질을 물리화학적으로 제거한 후, 미생물을 이용하여 유기물을 제거하고 남아 있는 미세한 냄새, 맛, 색깔 등을 카본으로 흡착시킵니다.

반도체 생산과정에서는 먼지 입자 하나만으로도 품질에 치명적인 결함이 발생할 수 있기 때문에 물로 씻어내는 공정이 매우 중요합니다. 예를 들어, 반도체 웨이퍼를 깎은 후에 발생하는 부스러기나 반도체에 주입한 후 남은 이온 등은 모두 미립자마저 제거되는 "초순수"로 씻어냅니다. 이렇게 물로 씻어내는 공정은 반도체 생산에 있어 매우 중요한 역할을 합니다.

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