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나노엑스, 세계 최초로 10㎛ 미만 피치 기술로 마이크로LED 프로브카드 양산 성공

나노엑스는 10 마이크로미터(1㎛=100만분의 1m) 피치(Pitch, 핀 사이의 간격) 이하의 기술을 구현한 마이크로LED 검사용 프로브카드(이하 프로브카드) 양산에 세계 최초로 성공했다고 밝혔습니다.

나노엑스는 초소형 정밀 기계제작 기술을 바탕으로 초미세 나노핀을 개발하고 생산하는 반도체 공정기술 기업입니다. 핵심기술인 NEMS(3D 나노전자기계시스템)은 나노 크기의 전자기계 소자기술로, 초미세 전자기기, 초미세 입자, 바이오, 의료 등 다양한 산업에 적용할 수 있습니다. 나노엑스는 기술 관련 국내외 특허 출원과 등록 건이 각각 40여건과 10여건이며, 2021년에는 산업통상자원부 장관상을 수상한 바 있습니다.

마이크로LED는 초고해상도의 명암비 및 색표현이 뛰어나 차세대 디스플레이와 웨어러블 디바이스의 핵심 부품으로 각광받고 있습니다. 그러나 장비의 특성상 머리카락 두께의 1/3 수준인 30 마이크로미터 이하 크기로 필수 검사인 EL(Electro Luminescence)을 진행해야 하는 어려움이 있어 상용화가 지연되고 있습니다.

나노엑스는 자사의 NEMS 기술을 기반으로 완전 수직형(Full Vertical) 나노핀인 nPin™과 각각의 핀별로 개별적 탄성 구조를 갖는 iEPt™ 기술을 개발하였습니다. 이 두 기술을 접목시켜 현재 시중에서 가장 작은 사이즈의 마이크로 LED 검사용 프로브카드 양산 시스템을 세계 최초로 성공적으로 구축하였습니다.

이 프로브카드는 핀 직경이 3 마이크로미터 이하이고, 핀 간격이 10 마이크로미터 미만입니다. 또한 1028개의 채널이 동시에 접촉이 가능한 나노기술을 적용하여 검사 과정을 효율적으로 수행할 수 있습니다.

나노엑스의 마이크로LED 검사용 프로브카드 양산 성공은 이 분야에서의 기술력과 혁신성을 입증하는 결과입니다. 나노엑스는 더욱 발전하여 차세대 기술 분야에서 더 큰 성과를 이끌어 낼 것으로 기대됩니다.

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